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全自動探針臺
產(chǎn)品型號:SA-6/SA-8/SA-12
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價格:
折 扣 率: 0
最后更新:2019-02-27
關(guān) 注 度:4277
生產(chǎn)企業(yè):深圳市鑫志尚電子有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹量產(chǎn)型半自動/全自動探針臺
型號 SA-6/SA-8/SA-12 外形 1500(長)*1700(寬)*1100(高)
重量 1700kg 電力需求/功率 220VAC±10V/50Hz/2.2KW
規(guī)格參數(shù) 能夠測試的晶圓直徑 6,”8”,12”
晶圓厚度 300≤T≤1000um(標準)  300≧T(薄片機型)
晶圓厚度偏差  50um 
Index time 300ms(標準速度, die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動的時間)
Chuck 具備5軸移動機構(gòu)  (X/Y/Z/theta/F)
X-Y軸行程  380mm, 最高速度300mm/s, 分辨率0.1um 
XY全行程機械定位精度 ±2um(環(huán)境溫度在±1°以內(nèi)波動時)
XY最大速度 300mm/s
Chuck平面度 ≤5 um
Z軸行程 37mm,探針分離高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm 
Z軸移動解析度 0.1um
Z軸定位精度 ±2um
Theta 軸 ±5°/0.0001°
光柵尺 0.1um光柵尺 
預(yù)對位平臺 光學原理檢測, 平邊或者notch ±1°定位精度 
晶圓機械手 陶瓷機械手,cassette *1
晶圓裝載單元 一個升降單元,預(yù)對位單元,晶圓傳輸子單元以及他們的接口
自動對位系統(tǒng) 自動水平掃描、自動第一測試點定位、自動測試中心定位
自動上下片系統(tǒng) 料盒安全保護、晶圓定位邊預(yù)對準
精確對位單元 pattern matching
位移傳感器 采用靜電容傳感器 , 分辨率 2um (option)
照明 同軸鹵素燈照明或LED光源
視場 低倍情況:4.9*3.6mm 中倍情況:1*0.72mm 高倍情況:0.49*0.36mm
PC配置 I5CPU,4G內(nèi)存,128G固態(tài)硬盤等
LCD 顯示器 對位顯示為黑白,其他顯示為彩色,中文
鍵盤 單元大小 15*15mm, 46 字母數(shù)字
報警器(三色燈) 紅,黃,綠
操作場地要求 2200mmX2200mm
操作界面 Windows中文操作界面,中文MAPING動態(tài)顯示 
標記 上下標記 ,標記可以實時或者離線標記,標記耗時15~300ms,采用ink或者Laser 
可以采用的cassette形式  FOUP 12/8/6”(13或者25片);light FOUP 12/8/6”(13或者25片),12/8/6” open cassette 
可選附件 自動磨針臺 可以兼容高頻測試頭 晶圓ID 識別功能
可以匹配自動晶圓盒取放設(shè)備(AGV or OHT)  直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務(wù)器通訊
FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元(mini environment),可以在晶圓傳輸過程保持潔凈在Class100潔凈室里面,探針臺內(nèi)部可以達到Class 1“主體包括:控制盒,TTL,RS232,GBIP測試機接口
深圳市鑫志尚電子有限公司
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