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CVD設(shè)備
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最后更新:2016-05-23
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生產(chǎn)企業(yè):山東拓邦冶金設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹一、產(chǎn)品特點(diǎn)
   采用臥式結(jié)構(gòu),占地空間小,操作方便,可對一些小型工件在真空或者保護(hù)氣氛下進(jìn)行熱處理,是高校、科研院所、工礦企業(yè)等做CVD、氣氛保護(hù)、還原和真空處理用的理想產(chǎn)品。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1、效工作區(qū):Φ100×200mm
2、均溫區(qū)誤差:≤±5℃
3、最高溫度:1000℃
4、長期工作溫度:850℃
5、儀表控溫精度:±1℃
6、極限真空度:5Pa
7、壓升率:≤1.33Pa/h
8、水蒸氣系統(tǒng):恒溫水箱(室溫-100度,水位可看,溫度可調(diào))
9、爐管:石英管1套,310S管1套
10、快速升溫速率:≥20℃/min
11、慢速升溫、降溫速率:≤0.5℃/min
12、50段智能化程序控制 
三、結(jié)構(gòu)組成與特點(diǎn)
  本產(chǎn)品由爐體、爐管、控制系統(tǒng)、加熱元件、水冷系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等組成
山東拓邦冶金設(shè)備有限公司
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